通過旋緊螺釘使螺釘的端頭部分與所述支撐條431或所述第二支撐條432接觸,從而實現對所述連接部433的固定,避免所述連接部433在振動時發生脫離等情況。同時螺釘的設置,可實現所述底支撐件43結構的快速裝卸,便于維修更換。值得指出的是,為達到防止所述連接部433脫離的效果,所述限位塊438和所述第二限位塊439并非于設置為螺釘,通過在所述限位塊438和所述第二限位塊439的端部設置橫截面合適的部件,使所述限位塊438、所述第二限位塊439與所述連接部433卡接,即可實現螺釘的效果。所述接觸部434設置有弧形槽,玻璃的下邊緣設置于所述弧形槽內,從而實現所述底支撐件43對玻璃的位置固定。在進行減薄或其他加工過程中,玻璃通過所述玻璃加工治具4進行移動或放置時,均會產生振動;同時在進行蝕刻沖刷時,在酸液沖擊的作用下由于玻璃底部固定,易使玻璃產生彎曲,通過所述底支撐件43的結構設置,可實現設置于所述接觸部434上玻璃的懸浮柔性支撐,有效緩沖玻璃所受到的外界壓力或沖擊力,避免振動或沖擊對玻璃帶來的損傷;同時可有效降低所述玻璃加工治具4往復移動帶來的振動,使玻璃底部在所述連接部433的限制下進行小幅度的移動,在保證玻璃在所述玻璃加工治具4上有效擺動。哪里可以買到玻璃清洗劑;臺州哪家公司減薄用清洗劑
圖1為本發明實施例提供的一種拋光減薄裝置的結構示意圖;圖2為本發明實施例提供的一種托盤和待加工部件的鍵合固定方式示意圖;圖3為本發明實施例提供的一種磁轉子的結構示意圖;圖4為本發明實施例提供一種磁轉子的旋轉方式的示意圖;圖5為本發明實施例提供的一種拋光減薄方法的流程示意圖。具體實施方式以上是本發明的思想,為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂,下面將結合本發明實施例中的附圖,對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例是本發明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發明保護的范圍。本發明實施例提供了一種拋光減薄裝置,用于對inp基晶圓等部件進行拋光減薄,如圖1所示,包括托盤10、噴頭11和磁轉子12,當然,本發明實施例中的拋光減薄裝置還包括反應室13等,托盤10、噴頭11和磁轉子12等在反應室13內進行拋光和減薄反應。其中,托盤10,可選為石英托盤,用于固定待加工部件20,待加工部件20包括inp基晶圓。噴頭11用于向待加工部件20的待加工表面噴涂拋光液110,以對待加工表面進行拋光。紹興中芯國際用減薄用清洗劑主要作用蘇州博洋化學股份有限公司清洗劑;
減薄用清洗劑在現代工業生產中起著至關重要的作用。它專門用于在材料減薄過程中去除各種雜質和殘留物,為實現精確的減薄效果提供保障。一、重要性在材料減薄工藝中,清洗劑能夠確保材料表面的清潔度,使減薄操作更加順利進行。如果材料表面存在油污、灰塵、氧化物等雜質,不僅會影響減薄的精度和質量,還可能損壞加工設備。因此,選擇合適的減薄用清洗劑是保證生產效率和產品質量的關鍵。二、清洗劑的特點高效清潔能力:能夠快速有效地去除各種頑固污漬,包括油脂、污垢、氧化物等。兼容性好:與不同的材料具有良好的兼容性,不會對材料造成腐蝕、損傷等不良影響。安全環保:無毒、無害、不易燃、不易爆,對操作人員和環境友好。易于操作:使用方便,可根據不同的需求進行稀釋或調整使用方法。三、選擇要點考慮材料類型:根據被清洗材料的性質,如金屬、塑料、玻璃等,選擇與之兼容的清洗劑。評估清洗效果:通過試驗或參考其他用戶的經驗,評估清洗劑的清洗效果是否滿足要求。關注安全性:確保清洗劑安全可靠,不會對操作人員和環境造成危害。考慮成本效益:在保證清洗效果和安全性的前提下,選擇成本較低的清洗劑。
用于將空氣噴射到玻璃的將被暴露于激光束的預定部分并因此瞬時去除噴淋液,從而可得到更準確地玻璃厚度測量數據。一般的,所述目標厚度為減薄處理后所需求玻璃的理論厚度值,所述理論厚度值為具有公差的范圍值。所述玻璃減薄生產線還包括輔助厚度測量儀,所述輔助厚度測量儀設置在所述沖洗區2中并用于再次測量經減薄處理后的玻璃厚度,所述輔助厚度測量儀將測得玻璃厚度發送到所述控制器。所述輔助厚度測量儀的設置可降低所述主厚度測量儀32失靈或因所述蝕刻區3中的阻礙因素不能正確測量玻璃厚度時異常操作而造成的玻璃減薄缺陷,所述阻礙因素可以為噴淋液的噴淋阻礙或所述玻璃加工治具4的振動。所述控制器基于所述輔助厚度測量儀測得的玻璃厚度確定在所述蝕刻區3中是否正常執行減薄處理或者所述主厚度測量儀32是否正確工作。一般的,從所述輔助厚度測量儀接收的玻璃的厚度超出目標厚度的公差范圍,則所述控制器確定所述主厚度測量儀32無法正確工作或者在所述蝕刻區3中沒有正常執行減薄處理。在這種情況下,所述控制器發出警報來通知管理者,所述主厚度測量儀32失靈或者所述蝕刻區3中的減薄處理異常。所述主厚度測量儀32失靈或所述者蝕刻區3中的減薄處理異常可能是暫時的。減薄用清洗劑的類別一般有哪些?
即兩所述側板422之間設置有一排所述固定板423,從而形成對應設置有所述側支撐件44的所述豎直平板421,在各所述放置部內放置有一排玻璃,可實現所述放置部結構的小型化,便于在同一所述玻璃加工治具4上設置若干所述放置部以使各所述放置部對應不同尺寸的玻璃。圖4為所述調節槽的另一種實施方式,所述調節槽包括若干所述水平槽424和與所述水平槽424均豎直貫通連接的所述豎直槽425,所述固定槽426設置于所述水平槽424的下邊緣;兩所述豎直平板421均設置有所述側支撐件44,同一所述水平槽424可設置兩個所述固定卡塊427,即兩所述側板422之間設置有兩排所述固定板423,兩所述固定板423分別對應兩所述豎直平板421,使在同一所述放置部內分割處兩個放置空間,從而在各所述放置部內可放置兩排玻璃,便于節省所述玻璃加工治具4上的有限空間,可大尺寸玻璃和小尺寸玻璃配合設置于同一所述放置部內。較佳的,兩相鄰所述水平槽424之間還設置有至少兩個定位槽428,所述固定板423兩端設置有定位孔429,當所述固定卡塊427設置于所述固定槽426內時,所述定位槽428和所述定位孔429位置對應;通過將螺釘穿過所述固定槽426螺紋固定在所述定位孔429中,保證所述固定卡塊427在所述固定槽426內。輕松去除過厚涂層,減薄用清洗劑是您理想的選擇。揚州市面上哪家減薄用清洗劑批量定制
使用減薄用清洗劑的需要什么條件。臺州哪家公司減薄用清洗劑
降低待加工部件20如inp基晶圓的機械加工損傷。由于本發明實施例中采用光刻膠對托盤和待加工部件進行了固定,因此,對待加工部件的待加工表面進行拋光和減薄之后,還包括:對待加工部件進行清洗;采用特定溶液對光刻膠進行腐蝕,以將待加工部件與托盤分離。具體地,在完成拋光和減薄后,可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進行清洗,用di水沖洗干凈,40℃的氮氣吹干。之后,將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min,使得待加工部件20和托盤10自動分離,取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發明實施例提供的方法,還包括:在磁轉子運行一段時間后,更換磁轉子。如磁轉子12工作1小時后,可以將磁轉子12更換為新的磁轉子,以使磁轉子與待加工表面貼合緊密,避免了傳統減薄工藝中由于轉子形變誤差造成的加工精度失真。本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述,每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處,各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。對于實施例公開的裝置而言,由于其與實施例公開的方法相對應,所以描述的比較簡單,相關之處參見方法部分說明即可。對所公開的實施例的上述說明。臺州哪家公司減薄用清洗劑