11.5.1工藝設備的安裝不應影響潔凈室參數和服務功能。11.5.2工藝設備安裝時,現場的凈化空調系統應已連續運行24h以上;現場除正常照明外,應配備三相380V、單相220V和低壓行燈電源。11.5.3任何用于大設備的提升、牽引或定位的**設備在進人潔凈室安裝現場前,應徹底清潔,并應檢查有無脫屑、剝落的表面或不宜進入潔凈環境的材料。11.5.4設備安裝時應妥善保護墻壁與地面,設備的軟膠輪應予包裹,避免在地面拖磨。開洞作業不應劃傷或污染所在表面。設備安裝位置穿越不同潔凈級別區域時,穿越處縫隙應用柔性材料填充、密封,并應裝飾處理。潔凈廠房中以垂直構件分隔構成的廊道,用于安裝輔助設備和公用動力設施以及管線等。浙江潔凈傳遞窗無塵室檢測報告
3.1.1電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質,同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。3.1.2生產環境設計應根據產品品種及生產工藝要求,對電子產品生產過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。3.1.3潔凈室(區)內產品生產過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置,其制作的材質和清潔方式應按生產工藝要求選擇。3.1.1電子工業潔凈廠房生產環境的設計應根據生產工藝的要求控制微粒和對產品質量有害的雜質,同時還應提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數要求。3.1.2生產環境設計應根據產品品種及生產工藝要求,對電子產品生產過程需用的包括化學品、常用氣體和特種氣體、純水等各種介質的質量進行控制。3.1.3潔凈室(區)內產品生產過程所使用的工具、器具和物料儲運裝置,其制作的材質和清潔方式應按生產工藝要求選擇。上海半導體凈化車間無塵室檢測值得推薦國內按空態、靜態、動態對無塵車間進行測試。
7.3.1潔凈廠房中的凈化空調系統可分為集中式凈化空調系統和分散式凈化空調系統。凈化空調系統的型式應根據潔凈廠房的規模、空氣潔凈度等級和產品生產工藝特點確定。潔凈室(區)面積較小或只有局部要求凈化時,宜采用分散式凈化空調系統。7.3.2潔凈廠房的潔凈室(區)送風方式可分為集中送風、隧道送風、風機過濾器機組送風等。應根據潔凈室(區)使用功能和降低能量消耗的要求,經技術經濟比較,采用運行經濟、節約能源的送風方式。
空氣由空調箱經風管與超凈間內之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間,并由超凈間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。優點:構造簡單、系統建造成本,超凈間之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高超凈間等級。缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再***,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。塵室通常采用高效的HEPA(高效顆粒空氣)過濾器或ULPA(超高效顆粒空氣)過濾器,可有效過濾微小的灰塵。
6.2.3潔凈廠房內防火分區的劃分,應符合現行國家標準《建筑設計防火規范》GB50016的有關規定。丙類生產的電子工業潔凈廠房的潔凈室(區),在關鍵生產設備設有火災報警和滅火裝置以及回風氣流中設有靈敏度嚴于0.01%obs/m的高靈敏度早期火災報警探測系統后,其每個防火分區的最大允許建筑面積可按生產工藝要求確定。6.2.4潔凈室的上技術夾層、下技術夾層和潔凈生產層,當按其構造特點和用途作為同一防火分區時,上下技術夾層的面積可不計人防火分區的建筑面積,但應分別采取相應的消防措施。6.2.5潔凈室的頂棚和墻板、技術豎井井壁的材質選擇,應符合現行國家標準《潔凈廠房設計規范》GB50073的有關規定。無塵室為半導體行業提供了可靠的工作環境,推動了計算機、通信、物聯網等領域的飛速發展。北京壓差無塵室檢測認真負責
一般正壓無塵室比較常見,就是讓室內的空氣壓力大于室外的壓力。浙江潔凈傳遞窗無塵室檢測報告
1.1潔凈室建筑裝飾工程施工應在主體結構、屋面防水工程4.和**護結構驗收完成后進行。4.1.2潔凈室建筑裝飾施工應與其他工種制定明確的施工協作計劃和施工程序。4.1.3潔凈室的建筑裝飾材料除應滿足隔熱、隔聲、防振、防蟲、防腐、防火、防靜電等要求外,尚應保證潔凈室的氣密性和裝飾表面不產塵、不吸塵、不積塵,并應易清洗。4.1.4潔凈室不應使用木材和石膏板作為表面裝飾材料。隱蔽使用的木材應經充分干燥并作防潮防腐和防火處理,石膏板應為防水石膏板。4.1.5潔凈室建筑裝飾工程施工應實行施工現場封閉清潔管理,在潔凈施工區內進行粉塵作業時,應采取有效防止粉塵擴散的措施。浙江潔凈傳遞窗無塵室檢測報告