1. 高精度
• 能夠精確測量到微米甚至納米級別的不平度,這對于高精度加工的產品,如航空航天零部件、精密光學鏡片等非常重要。通過采用高精度的光學元件、先進的傳感器技術和精密的機械結構,確保測量結果的準確性。
2. 高分辨率
• 在測量小范圍的不平度變化時,具有高分辨率。例如,在測量電子線路板表面的微小起伏時,可以清晰地分辨出幾微米的高度差,這有助于發現細微的表面缺陷,提高產品質量。
3. 多種測量模式
• 可以進行單點測量、多點測量或連續掃描測量。單點測量適用于對特定位置的平直度檢測;多點測量可獲取物體表面多個離散點的平直度數據,用于分析表面的整體平整度分布;連續掃描測量則能全面地描繪出物體表面的平直度輪廓,適用于對大面積表面的檢測。
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