微波無ji紫外光源是一種在高能微波場中發生電離而發光的紫外線光源，它的燈管既沒有燈絲，也沒有電ji，只在超高真空的高純石英玻璃管中充入少量惰性氣體。由于其沒有電ji，所以不存在電ji與石英玻璃封裝時電ji導絲與玻璃熔接的慢漏氣現象，由于其沒有燈絲，所以不存在燈管的啟動次數跟燈管壽命成反比的問題，（國外先進的燈絲啟動次數大概800--1000次就會燒斷）所以說目前無ji紫外線光源跟微波紫外線光源是目前世界上壽命長的光源。
微波無ji紫外線燈主要由驅動電源，磁控管，微波波導，諧振腔，燈管，屏蔽網組成，磁控管就是一個微波源，他將驅動電源提供的電能轉化為微波能，由微波天線輸出，經過波導輸出到電磁諧振箱（一般的金屬箱體常規的鐵箱，不銹鋼箱，鋁箱等）諧振箱內的微波由于反射和折射將充滿整個箱體，也就是整個箱體內是一個高能量微波區域，位于此區域的無ji燈管中的惰性氣體會發生電離激發出140nm---400nm波長的紫外光。
